กระบวนการบําบัดน้ําเสียแบบครึ่งตัว

ด้วยการเปลี่ยนแปลงอย่างต่อเนื่องในเทคโนโลยีสารสนเทศอิเล็กทรอนิกส์สาขาอุตสาหกรรมเทคโนโลยีครึ่งประสาท ได้กลายเป็น "หัวใจ" ของการพัฒนาและได้รับการใช้อย่างแพร่หลายในการผลิตเศรษฐกิจแห่งชาติและชีวิตอย่างไรก็ตาม อุตสาหกรรมครึ่งตัวนําคืออุตสาหกรรมที่ใช้น้ํามาก ยิ่งการผลิตกระบวนการมีความก้าวหน้าขึ้น ความต้องการความสะอาดของพื้นผิวจะสูงขึ้นและการบริโภคน้ําและการปล่อยน้ําเสียยิ่งใหญ่.

ตัวอย่างเช่น บริษัทครึ่งนําในปักกิ่ง และบริษัทครึ่งนําในไต้หวัน ใช้น้ําขนาด 1346x104m23 และ 7000x104m2 ตามลําดับ ขณะที่ทรัพยากรน้ําต่อหัวของจีนอยู่ที่ 2300m2^,ซึ่งเทียบเท่าการใช้น้ําในบ้านทั้งหมดของเมืองที่มีประชากร 250,000 คน และ 1.3 ล้านคน ตามลําดับ

ถ้าน้ําเสียที่เกิดจากการผลิตครึ่งตัวนําถูกรีไซเคิล มันจะไม่เพียงแค่ลดความต้องการของทรัพยากรน้ําและค่าการผลิตแต่ยังลดการปล่อยสารพิษและภาระต่อสิ่งแวดล้อมสังคมสิ่งแวดล้อมซานกิง แชร์กระบวนการรักษาของน้ําเสียครึ่งประสาทที่มีฟลูอารีน ไนโตรเจน ฟอสฟอรัส สารอินทรีย์ อิโอนโลหะหนัก และกรดและแอลคาลีและข้อดีของกระบวนการที่แตกต่างกันในการกําจัดสารปนเปื้อนจากน้ําเสียครึ่งประสาท.

คุณลักษณะและการจัดหมวดของน้ําเสียครึ่งประสาท

1.1 ลักษณะของน้ําเสีย

• สารประกอบที่ซับซ้อนและซับซ้อนมาก ประกอบด้วยสารมลพิษ เช่น สารสกัดฟลอเรน, สารอินทรีย์, สารสกัดไนโตรเจน และไอออนโลหะหนักและมีปริมาณสูงของความต้องการออกซิเจนทางเคมี (COD) และปริมาณมากของ (ซิลิกาต) และ (อะลูมิเนต).

(2) สีที่เข้มข้น, COD สูง, เนื้อหาสารประกอบอินทรีย์ระเหยสูง, และอุดมไปด้วยไอออนโลหะหนัก, สารอินทรีย์ที่เป็นพิษและสารสกัด เช่นกรดไฮโดรฟลูอริก ทําให้ประสิทธิภาพการละลายทางชีวภาพของน้ําเสียต่ํา, และไม่เหมาะสําหรับการบําบัดโดยใช้วิธีบําบัด sludge ที่ทํางานแบบดั้งเดิม

(3) อิออนฟลอไรด์ (F^-) และสารกรด fulvic สามารถปฏิกิริยากับไอออนโลหะหนักเพื่อสร้างซับซ้อนที่มั่นคง และไอออนโลหะหนักสามารถปฏิกิริยากับสารอินทรีย์, ซิลิกาต และสารอื่น ๆ ได้ง่ายดังนั้นสารปนเปื้อนในน้ําเสียจึงซับซ้อนและหลากหลาย.

ดังนั้น มันสําคัญที่จะเลือกกระบวนการและเปลี่ยนวิธีการรักษาตามประเภทคุณภาพของน้ําเสีย

1.2น้ําเสียการจัดหมวดและการรักษา

1.2.1การรักษาน้ําเสียที่มีฟลอริด

น้ําเสียที่มีครึ่งตัวนําฟลูอริด ส่วนใหญ่มาจากกระบวนการกระจายและ CMP ในกระบวนการผลิตชิปการใช้งานในอุตสาหกรรมปัจจุบันของวิธีการกําจัดน้ําเสียที่มีฟลอรไดส่วนใหญ่รวมถึงการฝนเคมี, การซับซ้อน การแยก Membrane ฯลฯ

ภาพที่ 1 กระบวนการบําบัดน้ําเสียที่มีฟลอริดและข้อดีและข้อเสียของมัน

a.การฝนด้วยสารเคมีเหมาะสําหรับการรักษาน้ําเสียที่มีปริมาณฟลอรไดสูง^-การปฏิกิริยาสร้าง CaF2 ที่ไม่ละลาย ดังนั้นวิธีการฝนเกลือแคลเซียมจึงถูกใช้อย่างแพร่หลายในน้ําเสียที่มีฟลอรไดในอุตสาหกรรมครึ่งประสาท

b.มีวิธีการดึงดูดสองวิธี: การดึงดูดตรงและการดึงดูดไฟฟ้าเป็นวิธีการที่ใช้ไฟฟ้าที่ติดเชื้อเพื่อดูดซึมไอออนและอนุภาคที่ติดเชื้อในน้ําเสีย, เพื่อให้มลพิษอุดมและมุ่งเน้นบนพื้นผิวของอิเล็กทรอนด์เพื่อบรรลุเป้าหมายของการทําความสะอาดน้ําเช่น ถ่านกระตุ้นและดินมีปัญหา เช่น ความสามารถในการดึงดูดที่ต่ํา, การคัดเลือกที่ไม่ดี, การมลพิษทางสองต่อสิ่งแวดล้อม และคุณภาพของน้ําเสียที่ไม่ดี

c. วิธีการแยกเยื่อส่วนใหญ่ประกอบด้วย การชําระไฟฟ้าและการปรับออสโมสอิเล็กทรอนไดอลิสิส คือการใช้อิเล็กทรอนเพื่อนํากระแสไฟฟ้าไปใช้ในทั้งสองด้านของผนังที่ผ่านผ่านการคัดเลือก เพื่อสร้างความแตกต่างของพลังงาน, ซึ่งส่งเสริมการเจาะแพร่ทางคัดเลือกของ anions และ cations ผ่านผิว membranes. reverse osmosis คือการใช้ความแตกต่างความดันในทั้งสองด้านของผิว membranes เพื่อกรองโมเลกุลน้ําและ F^{- วิธีการ}ของการแยกแยก

1.2.2การบําบัดน้ําเสียที่มีสารไนโตรเจน

น้ําเสียที่มีสารไนโตรเจนมาจากน้ําอะโมเนียคและฟลอเรทอะโมเนียคที่ใช้ในกระบวนการทําการถัก และมีอยู่เป็นหลักในรูปของไนโตรเจนอะโมเนียควิธีการบํารุงรักษาน้ําเสียของอะโมเนียกไนโตรเจนหลัก ๆ ประกอบด้วยการล้างอากาศ, การซึมซับ, การนิวเทรเลชั่น, การคลอรีนจุดหยุด, วิธีชีววิทยา, ฯลฯ

รูปที่ 2 กระบวนการบําบัดน้ําเสียด้วยสารไนโตรเจนอะโมเนีย และข้อดีและข้อเสียของมัน

a.มีสองประเภทของวิธีการถอน: การถอนอากาศและการถอนควาย เมื่อเปรียบเทียบกับการถอนอากาศ, การถอนควายมีอัตราการกําจัดไนโตรเจนอะโมเนียกที่สูงกว่า 90%และเหมาะสําหรับน้ําเสียที่มีปริมาณสูงกว่า.

b.วิธีการซับซ้อนโดยทั่วไปใช้ได้เฉพาะกับน้ําเสียปริมาณปริมาณปริมาณปริมาณปริมาณปริมาณปริมาณปริมาณปริมาณปริมาณมันมักถูกประสานงานกับกระบวนการอื่น ๆ เพื่อดําเนินการรักษาการลดไดทริฟิเคชั่นลึก.

c. กระบวนการ deitrification คลอรีนที่จุดหยุดสามารถใช้สําหรับกระบวนการ deitrification ครั้งเดียวหรือสําหรับการรักษาลึกของกระบวนการ deitrification.

1.2.3การรักษาน้ําเสียที่มีสารฟอสฟอรัส

ส่วนใหญ่มาจากของเหลวแอนลูมิเนียมในการถักในกระบวนการผลิต มันมีอยู่ในรูปแบบของ PO43^-วิธีการบําบัดน้ําเสียที่มีฟอสฟอรัสประกอบด้วย การตกฝนทางเคมี, วิธีชีววิทยา, วิธีการดึงดูด, วิธีการกระจกกระจกและวิธีการแลกเปลี่ยนยอน

รูปที่ 3 กระบวนการบําบัดน้ําเสียที่มีสารฟอสฟอรัส และข้อดีและข้อเสียของมัน

1) สารสกัดแบบดั้งเดิมมีปัญหา เช่น ค่าใช้จ่ายในการเปลี่ยนที่สูงและความสามารถในการสกัดที่ต่ํานักวิชาการหลายคนได้ทําสารสับสนที่มีประสิทธิภาพสูง โดยการปรับปรุงเคมีของขยะอุตสาหกรรมราคาถูก.

(2) เมื่อเทียบกับการฝนเคมี, ฝนที่ผลิตจากการฝนกระจกกระจกมีค่าการใช้ประโยชน์ระดับสองที่สูงกว่าและสามารถใช้เป็นปุ๋ยพืช.สามารถแสดงผลการกําจัดฟอสฟอรัสได้ดี.

1.2.4การบําบัดน้ําเสียอินทรีย์

และกระบวนการ CMP ในการผลิต, และส่วนใหญ่มีสารละลาย เช่น อิโซโพรพิลแอลกอฮอลล์, โปรพีเลนกลิกอล monomethyl ether acetate, acetone, xylene, เป็นต้น, ด้วย COD สูงและ biodegradability ต่ําปัจจุบัน, วิธีการบํารุงรักษาน้ําเสียอินทรีย์หลัก ๆ ประกอบด้วยวิธีทางชีววิทยาและวิธีการออกซิเดชั่นที่ก้าวหน้า

(1) bioreactors และวิธีเคมีและชีววิทยารวมกัน มักจะใช้ในการรักษาน้ําเสีย

2) กระบวนการบําบัดการออกซิเดชั่นที่ขั้นสูง (AOP) ถือว่าเป็นวิธีที่ดีที่สุดในการบําบัดน้ําเสียอินทรีย์ เนื่องจากอัตราการออกซิเดชั่นที่รวดเร็วและประสิทธิภาพในการเหมืองแร่สูง

ภาพ 4 กระบวนการบําบัดน้ําเสียทางอินทรีย์และข้อดีและข้อเสียของมัน

1.2.5การบําบัดน้ําเสียโลหะหนัก

น้ําเสียโลหะหนักในครึ่งตัวนําโดยหลักมาจากกระบวนการเคลือบไฟฟ้าเคมี (ECP) และกระบวนการ CMP โดยหลักๆ เป็นทองแดงและโคบอลท์ซึ่งมีอยู่เป็นหลักในรูปแบบของซับซ้อนที่สร้างขึ้นโดยสาร chelatingวิธีการบําบัดหลักสําหรับน้ําเสียโลหะหนักที่ซับซ้อนประกอบด้วย การซับซ้อน, การตกฝนทางเคมี, การแลกเปลี่ยนอิออน, การลดออกซิเดน, ฯลฯ

รูปที่ 5 กระบวนการบําบัดน้ําเสียโลหะหนัก และข้อดีและข้อเสียของมัน

1) การฝนเคเลตเป็นวิธีการในการกําจัดโลหะหนักโดยใช้สารเคเลตโลหะหนัก (เช่นกลุ่มอะมิโนและดิติโอคาร์บ๊อกซิล) เพื่อสร้างเกลือที่ไม่ละลายกับโลหะหนัก

(2) วิธีการออกซิเดชั่นที่พัฒนาขึ้นใช้รังสีอิสระที่ออกซิเดชั่นแรงในการทําลายพันธะเคมีที่แข็งแกร่งระหว่างไอออนโลหะหนักและกลุ่มฟังก์ชันการทํางานบางกลุ่มในลีกันด์เพื่อปล่อยไอออนโลหะหนัก.

3) วิธีการดึงดูดรวมการกําจัดโลหะหนักและกรดอินทรีย์ร่วมกันและการสกัดโลหะหนักเทคโนโลยีการกําจัดกรดอินทรีย์เป็นกระบวนการในการกําจัดสารปนเปื้อนจากน้ําเสีย โดยการดึงซับซ้อนทั้งหมดลงบนสารดึงซับ.

1.2.6การบําบัดน้ําเสียด้วยกรดและเกลือ

กระบวนการผลิตครึ่งประสาทจะปล่อยสารกรดหรือแอลคาลีนจํานวนมาก ซึ่งจะทําให้ค่า pH ของน้ําเสียต่ําเกินไป หรือสูงเกินไปซึ่งทําให้เกิดความเสียหายต่อสิ่งแวดล้อมได้ง่ายปัจจุบัน การบําบัดน้ําเสียประเภทนี้โดยทั่วไปใช้เทคโนโลยีการปรับปรุงความเป็นกลาง 3 ขั้นตอนเพื่อปรับค่า pH ค่าคือ 6.0-7.5 การปล่อยระยะหลัง

สาขาอุตสาหกรรมครึ่งตัวนํา เป็นสาขาอุตสาหกรรมที่ใช้น้ํามาก และการรีไซเคิลน้ําเสียเป็นวิธีหนึ่ง ที่มีประสิทธิภาพในการแก้ไขวิกฤตน้ําในอุตสาหกรรมครึ่งตัวนําเนื่องจากค่าใช้จ่ายและปัญหาทางเทคนิคน้ําเสียที่มีคุณภาพน้ําที่ค่อนข้างดี สามารถนําไปนําไปนําไปนําไปใช้ใหม่ ขณะที่น้ําเสียที่มีคุณภาพน้ําที่ค่อนข้างซับซ้อน สามารถนําไปนําไปใช้ใหม่